LED-半自动UV照射机STK-1020用于硅晶圆
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( 陈静静 女士)
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LED-半自动UV照射机STK-1020专门用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等
LED-半自动UV照射机STK-1020概要:
半自动LED-UV照射机STK-1020专门用于硅晶圆、玻璃、陶瓷等产品切割后的解胶工序,采用手动上下料方式,配备触摸显示屏,操作方便快捷。机台的LED UV工作模组可发出波长为365nm的紫外光对产品进行照射解胶。UV照射能量出厂MAX设置为450mW/cm2。同时设备配置有UV安全保护装置。
UV照射机STK-1020产品规格:
物料规格:可支持 6”~12”Frame
UV单元:1 套 LED UV 模组
UV波长:365 nm
UV照射能量:50~450 mW/ cm2,照射能量实时监测,能量可程序调节。
UV照射均匀性:<=±10 %
UV照射时间: 0~999sec,程序可设定
扫描速度:0~100 mm /s, 程序可设定
灯箱温度:实时监控灯头和灯箱温度
UV灯类型:LED 型冷光源,能量强,寿命长,能耗低,发热量小
控制单元:PLC 和触摸屏
上料/下料:手动
电源:单相 220V, 6A
气体:氮气可选配
设备外壳:白色喷涂外壳
设备尺寸:780mm(宽) x 620mm(深) x 300mm(高)
设备净重:约 300kg
晶圆良率:>=99.99%
更换产品时间:<=5 分钟
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