超薄晶圆支持系统-支持极薄化晶圆的键合

超薄晶圆支持系统-支持极薄化晶圆的键合




超薄晶圆支持系统的特点：
4”-8”/8”-12”晶圆适用，支持极薄化晶圆的键合。
可选真空热压/UV/激光等键合方式
键合机智能测绘料篮内晶圆，兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
键合机支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准
超薄晶圆支持系统可自动完成晶圆键合（Wafer Bonding)工艺。
可选配晶圆键合后的在线检测功能
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力



超薄晶圆支持系统规格：
贴片机                         Wafer Bonding系列
键合晶圆尺寸                 4”-8”/8”-12”
支持体基板                 玻璃
键合装置：真空热压/UV/激光 定制
粘贴装置                 搭载
晶圆盒形式                 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他                         SECS/GEM 或简易联网能力


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